发布时间2021-08-17 浏览次数:765
仪器成套组成:由主机、选配的四探针探头、测试台等部分组成。
主机主要由恒流源、高分辨率ADC、嵌入式单片机系统组成。仪器所有参数设定、功能转换全部采用数字化键盘输入;具有零位、满度自校功能;电压电流全自动转换量程;测试结果由数字表头直接显示。本测试仪特赠设测试结果分类功能,大分类10类。仪器适用于半导体材料厂器件厂、科研单位、高等院校对导体、半导体、类半导体材料的导电性能的测试。
基本技术参数
1. 测量范围、分辨率(括号内为可向下拓展1个数量级)
电 阻:10.0×10-6 ~ 200.0×103 Ω, 分辨率1.0×10-6 ~ 0.1×103 Ω
(1.0×10-6 ~ 20.00×103 Ω, 分辨率0.1×10-6 ~ 0.01×103 Ω)
电 阻 率:10.0×10-6 ~ 200.0×103 Ω-cm 分辨率1.0×10-6 ~ 0.1×103 Ω-cm
(1.0×10-6 ~ 20.00×103 Ω-cm 分辨率0.1×10-6 ~ 0.01×103 Ω-cm)
方块电阻:50.0×10-6 ~ 900.0×103 Ω/□ 分辨率5.0×10-6 ~ 0.5×103 Ω/□
(5.0×10-6 ~ 100.0×103 Ω/□ 分辨率0.5×10-6 ~ 0.1×103 Ω/□)
2. 材料尺寸(由选配测试台和测试方式决定)
直 径: HAD-T-A圆测试台直接测试方式 Φ15~130mm,手持方式不限
HAD-T-B/C/F方测试台直接测试方式180mm×180mm,手持方式不限.
长(高)度: 测试台直接测试方式 H≤100mm, 手持方式不限.
测量方位: 轴向、径向均可