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产品名称: MHY-13452射频磁控溅射镀膜装置厂家
产品型号: MHY-13452
品牌: 623
产品数量:
产品单价: 面议
日期: 2024-09-12

MHY-13452射频磁控溅射镀膜装置厂家的详细资料

 1:射频磁控溅射镀膜装置
型号:MHY-13452

主要用途:本设备主要用于大专院校研究和开发纳米单层膜;如各种硬质膜、金属膜;也可以是非金属、化合物等薄膜材料。可以行直接溅射,亦可以实现反应溅射。
主要特点:结构简捷、操作简便,真空度维护,安可靠。
镀膜机应安装在干净无尘埃、无腐蚀性气体的室内,并具备清洁水源、及220V的稳定电压等条件的地方。
1、地面的基本水平度要经过调整,不得低不平;
2、环境温度:10℃~30℃;
3、相对湿度:不大于75%;
4、耗水量(水温度≤25℃,2.5Kg≥水压≥1.5Kg):约0.2T/h;
5、水质要求:
矽酸硬度<6度,PH值:7-8,电导率:200us/cm,沉积率:<200mg/L。
6、电压: 220V,50HZ, 
电压波动范围: 198~231V;
频率波动范围:49~51Hz;
7、水压:0.3~1Kg/cm2或0.03~0.1MPa/cm2;
8、充入气体纯度99.9%或以上;
9、镀膜用耗材纯度99.9%或以上。
设备规格参数
1.1、溅射处理室: 
       1、钟罩:内径225mm×度260mm;
       2、试样台:直径80mm(zui大);
       3、试样旋转:静止;
       4、挡板:手动;
       5、衬底加热器:不锈钢加热器(DC24V); 
       6、衬底温度范围:室温~200℃;
       7、衬底可调距离:20mm~60mm;
       8、溅射室限真空:0.5Pa
1.2、真空系统:
       1、抽气系统:由机械泵组成的真空系统;抽气速率:4升/S
       2、真空检测:电阻真空计、电阻规;
       3、常用真空度:1~20Pa
       4、操作:手动
1.3、溅射电源:
1、射频电源:频率13.560MHZ,率:500W,用表示; 
2、阻抗匹配器范围:(2.7~45)Ω-j(0~70)Ω; 
3、供电:AC 220V;
4、冷却方式:风冷;
  1.4、 磁控靶:
1、靶材直径:Ф50mm、 个磁靶;
2、靶材厚度:3~6mm;
1.5、气系统:2路转子流量计气,
1.6、电源要求:AC 220V  50Hz  10A 
1.7、气体要求:氩气--纯度99.9%(样品有特殊要求时使用纯)
1.8、冷却要求:靶体水冷,溅射电源风冷
1.9、体积重量:体积:L550mm×W680mm×H1480mm;约120kg

2:氮氢空发生器  氮氢空体机
 型号:MHY-19357

、概述:

  本仪器是集氮、氢、空发生器为体的仪器,它是我所在SGN型纯氮发生器、SGH型纯氢发生器、SGK型低噪音空气泵的基础上,融合现代新术,为适应市场的需要而开发、设计并向市场推出的新代产品。
本仪器以崭新的结构设计,简单的作程序,竭诚为操作者提供更加便捷、可靠的作条件。

外观示意:
 

    2.作原理:

二、主要术参数:

  

 
 MHY-19357
 
 
纯度
%
 作压力
MPa
 流量
ml/min
 
 
 
 
 
氮   气
 99.999
 0~0.4
 0~300
 
   
 
氢   气
 99.999
 0~0.4
 0~300
 
 
 
 
空    气
 -
 0~0.4
 0~1500
 
 
 
 
电源电压
 交流220V±10%; 50Hz±5%
 
环境温度
 0~40℃;相对湿度≤85%
 
环境条件
 无大量粉尘及腐蚀性气体
 
zui大率
 350W
  
外形尺寸
 500(L)×430(W)×380(H)  (单位:mm)
 
仪器重量
 48kg
  
备    注
 纯度相对含氧量而言
 


 

三、仪器特点:

可取代压钢瓶,使化验室仪器化。
操作简便,只需启动电源开关,仪器即可产气,输出压力稳定,氮、氢、系统设有流量显示,更醒目直观。
不消耗电解液:电解液只起离子转换作用并不消耗,所以只需补充蒸发而损失的少量蒸馏水。
性能安可靠:集SGN型、SGH型、SGK型系列发生器及产品之优点,设有多保护装置,是安、可靠、方便的结合。
寿命长:即可间断使用,又可连续使用且产气稳定、不衰减。
节能:采用的开关电源,提了电解效率。
四、使用方法:        

()、把仪器从包装箱中取出时,请核对配件及保修卡是否齐。
(二)、检查仪器外观有无因运输成的损伤等异常现象。
(三)、开机前的准备及联机:
(1)、配置电解液:将100克氢氧化钾(分析纯)KOH兑500ml蒸馏水,溶解冷却后,取下注液口内黑色堵头后,注入液罐(液罐容积1.2L),然后再补充蒸馏水至1.2L刻度线处。(注液口处于仪器面,,注意不要外溅,作时保证此口畅通,不要堵塞。)
(2)、将仪器电源线接地端(中间片)及机箱外壳可靠接地,以防止产生静电。
(3)、将仪器后面板上的“空气输入”口上的密封压帽取下,然后换上随机所带的过滤器。
(4)、将后面板上的“H2”、“ N2” 、“Air”输出口上的密封母拧紧不漏气。
(5)、接通电源启动开关(在仪器左侧),空气“Air”“作示”灯亮,数分钟后,示灯熄灭Air压力示为0.4“H2”的流量显示为“000”或接近“000”;压力示为 0.4Mpa。
此时,“N2”系统行净化排空(10分钟左右),流量显示变化较大,没有输出压力。10分钟后“N2”的流量显示为“000”或接近“000”;“ N2”、“Air”、“H2”压力示均为0.4Mpa。
(6)、以上正常后,关闭电源,将“H2”、“ N2” 、“Air”输出口上的密封母取下,用外径ф3的管道与仪器相连并保证不漏气,即可作。
(7)、作毕请按下“排水开关”数秒钟后关闭电源。每日排水不能少于次。 
(8)、再次作时,启动电源即可

五、注意事项:

(1)、本仪器不允许在“H2”、“ N2” 、“Air”压力为零的情况下长时间运行,否则易发生返液等情况。
(2)、本仪器由于设定自动排空,所以,每次开机10分钟后,“氮气输出”口处才有氮气输出。
(3)、要经常从观察窗观察变色硅胶情况,用户可根据需要更新硅胶或行干燥处理。
(4)、仪器作时消耗蒸馏水,平时用户可根据需要补充蒸馏水,并保证液位始终处于0.6 L—1.2L刻度线之间。(建议半年左右更换电解液次。)
(5)、本仪器显示的流量值仅供参考,它是由电解电流转换而来,由于氢气、氮气是经过储气、净化管后缓冲输出,所以输出流量稳定,显示值在十位上有±1的变化为正常。
(6)、本机由于采用冰箱压缩机做空气源,所以,压缩后的空气需要经脱油处理,本机在作1000小时后需要更换脱油净化器内的活性炭次。
(7)、空气输入过滤器需定期清洗(周期视室内粉尘情况而定,可用超声波清洗)以保持气通畅,否则易引起压缩机作负载增大并发热,温度过时会发生过热保护而导致停机。
(8)、由于压缩机为开路作方式,故润滑油会随水排出机外,成消耗,所以在使用年后适当给压缩机加润滑油,加油口在压缩机出气口旁边(或从空气输入口亦可),建议加18号冷冻机油200克。在压缩机作时,把油管插入空气输入口油会自动吸入

六、变色硅胶的更换:

关闭电源,待压力示为零后,按逆时针方向旋下净化器盖,倒出变色硅胶行更换,之后再按反方向将净化器旋紧,确保密封。    仪器使用段时间后,发现干燥管内的硅胶由下而上逐渐变色,超过定度时就应该更换硅胶,操作步骤如下:

(1)、关闭电源,待压力示为零后按图示方向旋转,卸下干燥管盖:
 

(2)、向上取出干燥管内管:
取出棉团,倒出硅胶

(3)、装新的(或烘干后的)硅胶,量以不超过靠近管口的小通气孔为宜。
盖上棉团,注意不能有棉丝沾到干燥管口端面上(否则易导致漏气)。旋紧盖。

七、活性炭的更换

关闭电源,待压力示为零后,把仪器右侧板打开,然后把装有活性炭的脱油净化器底脚的固定螺钉拆下,将其上连接的两条蓝色压管卸下(要记住对应接头)。
把盖按逆时针方向旋下。倒出活性炭(铅笔芯式)行更换,之后再按反方向将净化器旋紧,确保密封。
按原位置把脱油管装到仪器上,注意蓝色压管的对应接头,不能反装。

八、气密性检测:

仪器使用段时间后,如发现压力达不到规定值或显示的数值比平时使用时的数值大,般说来是由漏气成的,所以应用皂液检漏,尤其是重新换过变色硅胶的净化器上下两端处更应特别注意检查。

九、装箱单:

MHY-19357主机台。
使用说明书份。
保修单份。
备件:橡胶密封圈φ6×1.9二十个,φ45×3.5三个;
   M8×1密封压帽3个;保险管(8A)二个;过滤器二个。

十、本研究所竭诚为用户服务,产品保修年,终身负责维修,除生产定型产品外还可以根据用户特殊需要行设计生产

十、今后机型等略有变动,本说明书不再改动。


 

3:马弗炉
  型号:MHY-19356-4

名称 型号  作室尺寸 额定温度℃ 额定率(KW)
马弗炉 MHY-19356-1 200*120*80 1000 2.5
MHY-19356-2 300*200*120 1000 4
MHY-19356-3 400*250*160 1000 8
MHY-19356-4 500*300*200 1000 12
MHY-19356-5 200*120*80 1200 2.5
MHY-19356-6 300*200*120 1200 5
MHY-19356-7 400*250*160 1200 10
MHY-19356-8 250*150*100 1300 4